佐治亚理工的Hess研究组在2015年报道了在等离子表面处理机低温下运用气体等离子体蚀刻的方安对金属铜、金和银材料进行蚀刻。传统的金属Cu蚀刻采用的Cl2气体等离子体在高温下与其发生反应生成CuCl2，金属油漆附着力不够并在后续工艺中清除。而Hess研究组报道了在低温下(10℃)采用H2气体等离子体蚀刻的方法，成功在等离子表面处理机ICP的蚀刻腔体中实现了Cu蚀刻。
等离子表面处理器advantagesPlasma处理技术,具有优势的治疗对象的基材类型,可以加工、金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料(温度敏感),如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚(环氧乙基氯,甚至可以与聚四氟乙烯等,并且不会对表面造成损伤，什么金属油漆附着力最好并且可以实现整体和部分复杂结构的清洗，还可以携带客户的原始装配线在线生成，提供良好的良率和增加生产能力。。
在PTFE材料化学沉铜前的活化处理中，金属油漆附着力不够有许多方法可以采用，但从总体上看，可以达到保证产品质量，适于批量生产的目的有以下两种：a)化学加工法：金属钠和萘，在非水溶剂如四氢呋喃或乙二醇二甲醚的溶液中反应，形成萘-钠络合物，该钠萘处理液，可使孔内聚四氟乙烯表面原子被浸蚀，从而达到润湿孔壁的目的。这是一种典型的方法，效果好，质量稳定，目前应用广泛。
等离子体表面处理设备处理的污染物通常是不可见的，金属油漆附着力不够属于纳米级。这种污染会影响物体与其他物质相互作用的能力，如胶水或墨水。用等离...
