1、表面处理氟碳喷涂（alodine阿洛丁表面处理） 但用CO刻蚀这两类材料时，alodine阿洛丁表面处理会出现刻蚀终止现象，刻蚀开始时会出现气体饱和现象。与H2相比，PS的刻蚀速度会更快，选择性比会降低。在PS表面会沉积CO,可以用来调节刻蚀选择性比。使用这三种气体的混合物，我们可以看到选择性比在5以上，可以应用于工业生产。但Xe-CO混合会使更多...
