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等离子体和物质表面可以发生的反应主要有两种,附着力取决于什么一种是通过自由基进行化学反应,另一种是通过等离子进行物理反应,下面会详细介绍。(1)化学反应 化学反应中常用的气体有H2、O2、CF4等。这种气体在电浆中发生反应,形成高活性的自由基,并进一步与物体表面反应。

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等离子清洗机的表面处理技术就能够有效处理这两种类型的表面污染物,附着力取决于什么而在处理过程中需要先选择合适的工艺气体。在电子元器件表面处理过程中,较为常见的是氧气与氩气。

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氩气用于清洁,两种金属间附着力取决什么氩离子为设备表面提供足够的能量以去除污垢。聚合物中聚合物的化学键被分离成小分子,通过真空泵蒸发排出。同时,用氩等离子体清洗后,可以改变材料表面的微观形状,使材料在分子水平上变得“粗”,大大提高了表面活性和水面。氩等离子体的优点是它可以吸收材料表面而不会留下氧化物。缺点是过度腐蚀或污染颗粒在其他不希望的区域重新积累的可能性,但这些缺点可以通过微调工艺参数来控制。

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