新型电阻变化存储器的介绍及等离子刻蚀在等离子清洗机中的应用；阻性随机存储器(RRAM)是一种发展迅速的非易失性存储器。它的储存机制和材料是多样的。金属和金属氧化物的大量使用意味着在电阻存储器的图形化过程中也将面临等离子体清洗剂对磁性隧道结金属材料的刻蚀。而电阻变量存储器的多种存储机制，随机电晕处理装置有何作用决定了其上下电极可以采用与逻辑工艺兼容的相同材料制成，从而大大降低了研发和量产的复杂度和成本。
预处理工艺：等离子清洗机&RARR；超声波清洗；焊料清洗；运行自来水清洗；电解去污；RARR；运行自来水清洗；酸洗工艺；去离子水清洗是多年来大家采用的成熟工艺。但成熟的工艺不是一成不变的，电晕处理机功率调整必须根据产品和环境条件进行适当调整。如冬季室温降至0℃时，酸洗工艺溶液应适当加热或延长酸处理时间，以增强酸处理效果（效果），否则难以去除金属表面氧化层。
此外，随机电晕处理装置有何作用当氧气流量必须准时时，真空度越高，氧气的相对份额越大，活性颗粒浓度越大。但如果真空度过高，活性粒子的浓度反而会降低。四、氧气流量的调整：氧气流量大，活性颗粒密度大，脱胶速率加快；但如果通量过大，离子的复合几率增加，电子运动的平均自由程缩短，电离强度反而降低。如果反应室内的压力不变，流量增大，抽出的气体量也增加，参与反应前抽出的活性颗粒量也增加，所以流量增大对脱胶率的影响不明显。。
后者的偏置电压相对较低，随机电晕处理装置有何作用为SiO2提供足够的选择比。主流行业的一对SiO2/Si3N4层总厚度小于15nm，远小于数百纳米的台阶宽度。SiO2/Si3N4蚀刻要求相对宽松的侧壁角，不需要接近垂直。...
