它的能量范围高于气体、液体和固体物质，涂层厚度与附着力并且有具有特定能量分布的电子、离子和中性粒子。当它们与材料表面碰撞时，它们会将能量传递给分子和原子。材料的表面。发生一系列物理和化学过程。效果是完成物体的超净清洗、物体表面的活化、蚀刻、精加工、物体表面的等离子表面涂层。 (1) 对材料表面的蚀刻作用物理效应 等离子体中的大量离子、激发分子、自由基和其他活性粒子作用于固体样品表面，去除表面原有的污染物。产生杂质和蚀刻效果。
已知闪烁的电极、星云和星际空间存在于 1300 摄氏度左右的温度下。这是与铁水温度相当的温度。电弧等离子体和高频等离子体因其高能量而被称为热等离子体，涂层厚度与附着力用于材料合成、致密化和涂层保护。低温等离子体重粒子的温度仅为室温，但电子的温度可达到几十万度，远离热平衡状态，特别适用于电弧放电、辉光等制造设备释放。属于冷等离子类型。。
由于等离子体的高能量，涂层厚度与附着力可以选择性地分解材料表面的化学物质和有机物质。等离子技术等离子清洁剂还可以彻底清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了先决条件。等离子技术等离子清洗机的好处： 1. ％干净的2.与传统水洗相比，无需稀释3.清洁整个表面，包括微结构的凹面区域四。在线集成到现有生产线五。
等离子体法加工的芯体分辨率和保真度高，涂层厚度与附着力有利于提高集成度和可靠性。等离子沉积膜电介质膜的等离子体聚合可以保护电子元件，导电膜的等离子体沉积可以保护电子电路和设备免受静电电荷积累造成的损坏，膜的等离子体沉积还可以制造电容器元件。它在电子工业、化工、光学等方面有着广泛的应用。硅化合物的等离子体沉积。以SiH4+N2O（或Si(OC2H4)+O2)为原料制备SiOxHy。
