2、通过等离子体中的高能量粒子，表面配体对纳米颗粒的改性脏污会转化为 稳定的小型分子，并借此将其移除，处理过程中脏污的厚度只允许达到几百纳米 ，因为等离子的清除速度仅能够达到每次几 nm。3、金属氧化物会和工艺气体发生化学反应。作为工艺气体，使用了氢气和氩气或氮气的混合物。等离子体射流的热效应可能会导致进一步的氧化。故此建议在惰性气体环境下进行处理。
等离子清洗机可以增强样品的附着力、相容性和渗透性等，纳米颗粒的表面改性不同的工艺会使用不同的气体。LED等离子清洗设备能够进行纳米清洗，在一定条件下样品表面特征会发生变化优点是采用气体作为清洗介质，比传统的湿法清洗更有效地避免了样品的再次污染。已成为国内等离子体处理系统解决方案的专业等离子体设备供应商，已广泛应用于光学、光电子、电子学、材料、高分子、生物医学、微流体等领域。。
等离子纳米镀膜设备的应用领域◆ 汽车行业：当今汽车的缺陷几乎有一半是由于天气老化和电子元件腐蚀造成的损坏。使用油漆、树脂或凝胶（硅）涂层来防护水分、化学物质和有害气体，表面配体对纳米颗粒的改性该过程费力费时、昂贵、不友好且污染环境。等离子纳米涂层设备，散热、传感器信号衰减、涂层剥离或吸湿等问题提供促进层，替代现有的含溶剂底漆，并为汽车电子提供复合材料/防腐涂层或缓冲层。
