7．若设备长时间不使用，高温下物质亲水性强弱应关闭电源开关；拔掉等离子清洗机和真空泵的电源插头；关闭清洗气源钢瓶上的总阀；关闭气瓶上减压阀的阀门；右旋关闭A气路和B气路上浮子流量计进气针阀的开关（旋纽不可拧得太紧，否则易损坏针阀）；将清洗强度旋钮左旋归零；然后将设备盖上防尘罩后放置在通风、干燥、没有腐蚀性气体的洁净环境中。同时要注意设备应远离高温及蒸汽，避免设备暴露在阳光的直射下。
由于气体粒子温度较低（具有低温特性），高温下物质亲水性因此把这种等离子体称为低温等离子体。当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时，粒子之间的相互碰撞频率大大增加，各种微粒的温度基本相同，即Te基本与Ti及Tn相同，我们把这种条件下得到的等离子体称为高温等离子体，太阳就是自己界中的高温等离子体。由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈，因此在实际应用中很少使用，目前投入使用的只有低温等离子体。
由于衬底具有负电位，高温下物质亲水性强弱因此在衬底与等离子体之间的界面处形成了正离子的空间电荷层，即离子鞘。等离子体分类按温度分类：高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体是温度在 00℃以上的等离子体，如核聚变，是太阳的核心。热等离子体中的粒子温度为T>108-109K，粒子有足够的能量相互碰撞，达到聚变反应的条件。冷等离子体分为高温等离子体和低温等离子体。
等离子体是指部分或完全电离的气体，高温下物质亲水性强弱其中自由电子和离子所携带的正负电荷之和完全抵消，产生宏观中性电荷。等离子体又称等离子体，是一种类似电离气体的物质，由被剥夺了部分电子的原子和原子电离后产生的正负电子组成。在空气之外，它是物质存在的第四种状态。等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体两种。冷等离子体表面处理（点击查看详情）电离...
