采用金徕等离子体技对ITO阳极进行表面改性,可有效优化其表面化学组成,大大降低方块电阻,从而有效提高能量转换效率,改善器件的光伏性能。

太阳能聚能镜在生产过程中应用到等离子清洗工艺的有:

1、玻璃基板等离子体清洗:

使用金徕等离子体技术,对材料表面进行轰击,可有效去除表面有机污染物、氧化污染物、微信颗粒,使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度,为下道工序的进行奠定良好基础。

2、阳极表面等离子体改性:

采用金徕等离子体技对ITO阳极进行表面改性,可有效优化其表面化学组成,大大降低方块电阻,从而有效提高能量转换效率,改善器件的光伏性能。

3、涂保护膜前等离子体清洗处理:

硅片表面非常光亮,会反射掉大量的太阳光。因此,在其上沉积一层反射系数非常小的氮化硅保护膜是非常必要的。通过采用金徕等离子体技,可活化硅片表面,大大提高其表面附着力。