(3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,铝箔附着力好的树脂气体被破坏,由于辉光放电而发生电离和等离子体形成。真空室内产生的等离子完全吹到物体表面开始清洗。清洁过程通常持续几十秒到几分钟。 (4)清洗后,切断高频电压,放出气体使污物蒸发,同时向真空室内吹气,使气压升至大气压。等离子清洗相对于湿法清洗的优点是: (1)清洗后,待清洗物完全干燥,无需进一步干燥即可送入下道工序。

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狭义上讲,铝箔附着力好的树脂等离子体就是全部或部分被电离的气体,是电子、离子、原子和分子,或自由基等粒子组成的集合体;广义上讲,等离子体是由大量带正电的粒子和带负电的粒子,以及一些中性原子、分子和其他粒子所组成的,在宏观上呈电中性的物质聚集态。这种包含原子、分子、电子、离子、光子、各种亚稳态和激发态粒子的混合气体即为等离子体,等离子体又被称为继固态、液态和气态之后的物质的第4态或称等离子态,是独特的导电流体。

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,涂炭铝箔附着力检测方法用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任(何)暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效(果);腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。

低温等离子体射频电感耦合等离子体(ICP)等离子体源的早期研究始于20世纪初汤姆森和汤森,涂炭铝箔附着力检测方法以及伍德的开创性工作,但当时的工作压力还在几百帕,等离子体产生规模还很窄,无法广泛应用。直到最近10年,低压、高密度、大直径的ICP等离子体源仅用于生产[9,10等离子体表面处理器]。它是目前流行的两种射频射频电感耦合等离子体器件。

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如果双方都认为自己是独立的一方,我们是生产只是使用,你是维修工,设备的质量要对你负责,这样当然不会产生好的效果。应该看到,生产、使用和维修是一个整体的两个方面,就像自行车的两个轮子一样。只有两者充分协调,才能充分发挥设备的效率。生产使用部门不仅是生产和使用的足够,它还应该承担设备维护的基本工作,即“防止变质的活动”。

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