等离子去胶机

等离子去胶机 30L


1、引进德国核心等离子技术,质量有保障。

2、进口针阀精密流量控制计,精度高。

3、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。

4、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

5、可以根据客户需求定制。




  • 功能特点
  • 规格参数
  • 外形尺寸
  • 1、引进德国核心等离子技术,质量有保障。

    2、进口针阀精密流量控制计,精度高。

    3、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。

    4、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

    5、可以根据客户需求定制。



     

    JL-VM30

    等离子源系统

     

    13.56MHz 射频

     

    300W可调

    真空系统

    真空腔体

    材质

    航空铝

    腔体内部尺寸

    400*300*300mm(宽*深*高)

    托盘有效尺寸

    320*180mm

    物料托盘层数

    4层托盘、可拆卸式

    腔体容积

    30L

    密封性

    军工级焊接密封

    真空泵

    油泵/干泵

    真空管路

    不锈钢管、不锈钢波纹管

    真空计

    1*105~1*10-1Pa

    质量流量计

    ±1% FS

    气路控制

    标配2路(可定制)

    真空度

    5Pa-30ppa

    适用气体

    流量范围

    0-500SCCM(可调)

    工艺气体

    Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

    外观参数

    外形尺寸

    640*750*1700mm (宽*深*高)

     

    280kg

    设施配置

     

    五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定