深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

等离子去胶机 30L

  • 产品型号 JL-VM30
  • 产品类别 等离子去胶机
  • 应用范围

    对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。


返回列表 联系我们

对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。


 

JL-VM30

等离子源系统

 

13.56MHz 射频

 

300W可调

真空系统

真空腔体

材质

航空铝

腔体内部尺寸

400*300*300mm(宽*深*高)

托盘有效尺寸

320*180mm

物料托盘层数

4层托盘、可拆卸式

腔体容积

30L

密封性

军工级焊接密封

真空泵

油泵/干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1*105~1*10-1Pa

质量流量计

±1% FS

气路控制

标配2路(可定制)

真空度

5Pa-30ppa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

外观参数

外形尺寸

640*750*1700mm (宽*深*高)

 

280kg

设施配置

 

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定


等离子去胶机 30L应用

1、引进德国核心等离子技术,质量有保障。

2、进口针阀精密流量控制计,精度高。

3、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。

4、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

5、可以根据客户需求定制。



1、引进德国核心等离子技术,质量有保障。

2、进口针阀精密流量控制计,精度高。

3、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。

4、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

5、可以根据客户需求定制。




相关产品