型 号 | JL-VM30 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 300W可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 航空铝 |
腔体内部尺寸 | 400*300*300mm（宽*深*高） | ||
托盘有效尺寸 | 320*180mm | ||
物料托盘层数 | 4层托盘、可拆卸式 | ||
腔体容积 | 30L | ||
密封性 | 军工级焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 1*105~1*10-1Pa | ||
质量流量计 | ＜±1% FS | ||
气路控制 | 标配2路（可定制） | ||
真空度 | 5Pa-30ppa | ||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM（可调） | |
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选） | ||
外观参数 | 外形尺寸 | 640*750*1700mm （宽*深*高） | |
重 量 | 280kg | ||
设施配置 | 电 力 | 五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定 | |
