1、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
2、进口针阀精密流量控制计，精度高。
3、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
4、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
5、可以根据客户需求定制。
型 号
JL-VM30
等离子源系统
频 率
13.56MHz 射频
功 率
300W可调
真空系统
真空腔体
材质
航空铝
腔体内部尺寸
400*300*300mm（宽*深*高）
托盘有效尺寸
320*180mm
物料托盘层数
4层托盘、可拆卸式
腔体容积
30L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
真空管路
不锈钢管、不锈钢波纹管
真空计
1*105~1*10-1Pa
质量流量计
＜±1% FS
气路控制
标配2路（可定制）
真空度
5Pa-30ppa
适用气体
流量范围
0-500SCCM（可调）
工艺气体
Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
外观参数
外形尺寸
640*750*1700mm （宽*深*高）
重 量
280kg
设施配置
电 力
五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
