型   号

JL-VM05

等离子源系统

频   率

13.65MHz 射频

功   率

300W （连续可调，精度为1W）

真空系统

真空腔体

材质

石英

腔体内部尺寸

φ155*260mm（直径*深度)

腔体容积

5 L

密封性

军工级焊接密封

泵

真空泵

油泵/干泵

处理温度

＜60°C

流量计

浮子流量计

气路控制

2路处理气体气路，气体流量可调

真空度

10Pa --100Pa

工艺气体

Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选）

外观参数

外形尺寸

650*480*420mm（宽*深*高）

重      量

55kg

设施配置

电      力

单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。