深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

PTFE(聚四氟乙烯/特氟龙/铁氟龙)等离子蚀刻机

返回列表 联系我们

等离子清洗机对PTFE聚四氟乙烯等离子表面处理工艺,实现对PTFE聚四氟乙烯材料的表面清洗、刻蚀、活化、接枝等改性处理,改善与提升PTFE聚四氟乙烯和金属、塑胶、硅橡胶、陶瓷、金属及粘合剂等物质粘接时的附着力。

型 号

JL-VM200

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

40KHz  中频

功  率

0~1000W可调

0-5000W可调

          选  配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

500*700*600(宽*高*深)

腔体容积

200L

极板

22层,水平式,活动可调节

密封性

军工级焊接密封

真空泵

油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

<±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

1050*1700*1080(宽高深)

重  量

800KG

设施配置

电  力

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计
规范》等国标标准相关规定

压缩空气

干燥压缩空气CDA

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单.


PTFE(聚四氟乙烯/特氟龙/铁氟龙)等离子蚀刻机应用

      给物质施加高温或通过加速电子、加速离子等方式给物质提供能量, 中性的物质被电离成大量带电粒子 (电子、离子) 和中性粒子组成的混合状态称为等离子体。等离子体整体呈电中性, 它是除固态、液态、气态外的物质第四种状态。在所产生的等离子体中, 当电子温度与离子温度及气体温度相等时, 该等离子体称为平衡等离子体或高温等离子体;当电子温度远高于离子温度和气体温度时, 该等离子体为非平衡等离子体或低温等离子体。目前, 用于材料表面改性的主要是低温等离子体。


      在材料表面改性中, 主要是利用低温等离子体轰击材料表面, 使材料表面分子的化学键被打开, 并与等离子体中的自由基结合, 在材料表面形成极性基团。由于表面增加了大量的极性基团, 从而能显著地提高材料表面的粘接性能、印刷性能、染色性能等。低温等离子体的能量一般为几到几十电子伏特 (电子0~20 eV, 离子0~2 eV, 亚稳态离子0~20 eV, 紫外光/可见光3~40 eV) , 而PTFE中C-F键键能为4.4 eV, C-C键键能为3.4 eV。由此可见, 低温等离子体的能量高于这些化学键的能量, 足以使PTFE表面的分子键断裂, 发生刻蚀、交联、接枝等一系列物理化学反应。

      由于PTFE极低的表面活性和不粘性限制了它与其他复合材料的复合,特别是PTFE薄膜与其他骨架材料的粘结,因此必须对PTFE材料进行一定的表面改性,以提高其表面活性。  

      等离子表面处理使用氧气氩气,产生能量,当有足够的能量就可以打开PTFE聚四氟乙烯的碳氟键,同时又有活性基团替代掉氟原子时,PTFE聚四氟乙烯就会变成极性聚合物,表面能得到提升,亲水性得以改善。

相关产品