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处理步骤:确认送风压力是否过高或过低,环形远程等离子体清洗减压表告警值设置是否正确。检查电路是否断路、短路。3、等离子清洗机不亮可能原因:真空泵运行正常。射频电源主板烧坏;检查真空泵是否正常工作,真空压力表是否达到正常压力。如果达不到常压,则说明气路有泄漏,需要重新检查气路是否固定。1 .打开设备右侧的面板,设备正常运行时,主板上的绿色指示灯是否亮。如果不一致,请联系售后人员更换指示灯。1.真空泵故障。2.真空泵油不足。

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