低温等离子体技术可以在空气中产生负离子；在低温等离子体中，电晕机作用与功效高能电子可以使氧、氮等气体分子带上电子，从而产生空气负离子，这些负离子有&ldquo；空气维生素&rdquo；，&ldquo；长寿元素；具有良好的健康功效，对人体及其他生物的生命活动有很大影响。低温等离子体技术可以达到生物消毒的目的；低温等离子体具有明显的生物消毒作用。这一特点在疫情期间也得到了证实和应用。
氩气和氦气具有稳定特性，电晕机作用与功效分子的低充放电电压非常容易产生亚稳态分子。一方面，利用它们高能粒子的物理功效，清理容易被氧化或还原的物体。Ar+轰击泥土产生挥发性化学物质。污染物被抽离真空泵，以防止表面化学物质发生反应。氩极易产生亚稳态分子，与氧原子碰撞时产生正电荷变换和复合。在等离子体清洗设备中使用纯氢是非常高效的，但考虑到充放电的可靠性和安全系数，氩氢化合物也可以用于等离子体清洗设备。
分成三种等离子体效应：微喷砂处理：离子冲击剥蚀表面化学反应：电离气体与表面紫外辐射反应：紫外辐射分解长链碳化合物。等离子体的作用方式也会随着压力、功率、工艺时间、气体流量、气体成分等工艺参数的变化而变化。这样，电晕机作用与功效在单个工艺步骤中可以实现多种效果。
一种是导致轻杂质（氧、碳等）进入等离子体的机制；另一种是导致重（金属）杂质进入等离子体的机制。至于工作气体，电晕机作用与功效也经历入射到壁面再释放回等离子体的过程，一般称为气体循环。等离子体与表面相互作用的研究可以分为两个方面。理论工作主要致力于对某些过程的理解。如溅射、鼓泡、单极电弧、气体循环、边界层等，建立了相应的物理模型，并尝试给出物理参数之间的定量关系。实验工作可分为两类。
电晕机作用与功效
通过调整工艺参数（如电压、电流、炉内气体压力、温度、时间和工作气体成分等），容易获得纯扩散层、单相层和复合层。离子渗氮的关键技术是如何根据其特性和相关模具的使用条件合理选择工艺参数，进而获得最佳的渗氮层。（3）离子碳氮共渗离子渗碳氮技术是通过在钢表面分解炉气中的活性组分C3H8和NH3，分离出的活性原子C、N被表面吸收扩散到基体中实现的。又称离子软氮化，是由盐浴和气体软氮化发展而来的。
⑤垂直于二维平面方向的电导率很低，甚至是绝缘的。以上特点是这类材料具有性能高、实用性低的特点，但毫无疑问，克服每一个缺点都会使其在使用上更进一步，带来巨大的商业价值。这些材料的蚀刻一般比较困难，它们都具有活性强、体积小、靶材厚度极薄等特点。采用强化学蚀刻的等离子体蚀刻将难以控制蚀刻参数；用高能等离激元女儿显然不工作，这会损害影片。目前还没有成熟的蚀刻工艺对其进行图案化。
研究了等离子体设备的栅电极氧化层被等离子体相关过程损伤后，其HCI性能明显恶化，这是因为在等离子体设备的等离子体过程中栅氧化层中会流过一定的电流，会产生新的氧化物陷阱和界面态，热载流子注入其中更容易造成氧化物损伤。。等离子体设备中等离子体刻蚀对NBTI的影响；负偏置温度不稳定性(NBTI)是指PMOS在负栅偏置和高温下工作时，器件参数如Vth、gm和Idsat的不稳定性。
较小的电极间距可以将等离子体限制在较窄的区域内，从而获得更高密度的等离子体，实现更快的清洗速度。随着间距的增大，清洗速度逐渐减小但均匀性逐渐增大。电极的尺寸通常决定了等离子体清洗系统的整体容量。在电极平行分布的等离子体清洗系统中，电极通常用作托盘。更大的电极可以一次清洗更多的元件，提高设备的运行效率。工作压力对等离子体清洗效果的影响工作压力是等离子体清洗的重要参数之一。
电晕机作业需要管控的参数
这在世界高度关注环境保护的当下，电晕机作用与功效越来越显示出它的重要性；4.无线电波范围内高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，使其深入到物体的微孔和凹陷处完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且，这些不易清洗的部位，清洗效果甚至比氟利昂清洗还要好；5.采用等离子清洗，可大大提高清洗效率。
4缺加工除了设置连续生产线和在过程中设置防错外，电晕机作用与功效还可以从以下几个方面考虑改进：增设自检互检。每个工序放行前，操作人员应检查该工序加工内容是否自行完成，检查后放行或放入料架箱。加工前，检查是否完成前一序列的加工或装配内容。固定管理定位存储。如果是单机作业，每个单机工位内的待加工件和已加工件必须分开放置固定。一般左手边是待加工的部分，右手边是加工的部分。严禁混装，严禁将已加工的待加工件放置在同一架或箱内。
