清洗过程分五个步骤：等离子产生，镀锌附着力与锌纯度关系等离子向物体表面扩散，和被清洗材料发生反应，得到易挥发的产物，脱离材料表面，产物被抽走。
因此，镀锌附着力试验步骤如果发现等离子体表面垫圈的侧壁蚀刻的主蚀刻步骤的终点监测被暴露，则立即停止蚀刻并切换过蚀刻步骤。主刻蚀步骤中残留的氮化硅膜通过过刻蚀步骤被刻蚀去除，同时停止在氧化硅膜上，以防止损坏下面的硅衬底。过蚀刻步骤通常使用 CH3F 或 CH2F2 和 O2 气体的组合。 CH3F 气体分解为 CHx 和 F. + H。等离子体中的撞击离子会破坏 Si-O 键。
循环过程 还原过程单方面需要数百纳米。蚀刻气体，镀锌附着力试验步骤主要是 O2，通常用于实现足够高的还原率。在循环刻蚀过程中，SiO2和Si3N4同时被刻蚀，并停止在下SiO2表面。由于需要选择比，通常将其分解为 SiO2。蚀刻（相对低的选择性）步骤和 Si3N4 蚀刻。后者需要对 SiO2 具有高选择性，以便在下面的 SiO2 表面停止。
在线等离子清洗机等离子清洗在LED封装工艺中的应用：发光二极管 (LED)一般用作指示灯、显示板，镀锌附着力试验步骤它不但能够高效率地直接将电能转化为光能，而且拥有长达数万小时至数十万小时的使用寿命，同时具备不易碎省电等优点。。在线等离子清洗机的清洗原理： 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。
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从力学的角度来看，等离子清洗一般包括以下过程：将无机气体激发成等离子状态；将气相物质吸附到固体表面；吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子。将产物分子分解成气体的相；从表面去除反应残留物。
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用氧气等离子清洗，其中氧气主要与污染物发生氧化反应，特别是对有机污染物效果尤为明显，清洗过程反应式如下：O2*+有机物→CO2 +H2O （4）式（4）表明，处于激发态的氧气分子与有机物发生反应，生成CO2和水蒸气，对有机污染物比较有效。另一方面，由于O2作为典型的反应性气体，本身具有很强的化学活性，可直接与聚合物表面的分子链结合，改变材料表面的化学组成和性质。
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