中国人在低温等离子体清洗机等离子刻蚀机研制中的贡献;“龙的传人”在低温等离子体清洗机中,特氟龙plasma刻蚀机等离子体刻蚀机在过去近半个世纪的发展中起到了重要的作用。1999年出版的《硅谷英雄》提到了两位与低温等离子刻蚀设备研制密切相关的中国人。一位是林大卫博士,出生于中国广东。1967年毕业于加拿大多伦多大学工程物理系,后在麻省理工学院获得化学工程学士学位(1970年)和博士学位(1973年)。

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利用表面等离子刻蚀机改善隐形眼镜表面层的方法;等离子体刻蚀器已被用来处理硅树脂透镜的表面,特氟龙plasma表面处理机器以改善其表面性能,列举了表面变得更亲水,更耐积累,更耐磨损,或其他改进。在硅氧烷或聚氨酯镜片上提供保护涂层的方法是将电流光放电处理的镜片(表面等离子体处理设备)制成等离子体,即先在碳氢化合物气氛中处理镜片,再在氧气气氛中处理镜片,以增加镜片表层的亲水性。

自然形成的等离子体称为自然等离子体(如极光、闪电等),特氟龙plasma表面处理机器人工形成的等离子体称为实验室等离子体。实验室等离子体刻蚀机是在有限体积中形成的。等离子体刻蚀机自放电原理:利用外电场或高频电场引导蒸气,称为蒸气自放电。蒸汽自放电是形成等离子体的关键途径之一。被外电场加速的部分电离蒸气中的电子器件与中性分子结构碰撞,将电场获得的能量传递给蒸气。

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可实现物体表面的超净清洗、表面活化、蚀刻、光整及等离子表面涂层。根据等离子体中粒子的不同,物体处理的原理也不同。此外,输入气体和控制功率不同,实现了对象处理的多样化。由于低温等离子体表面处理的强度小于高温等离子体,可以保护被处理物的表面,所以在应用中多采用低温等离子体。而各种粒子在处理物体的过程中表现出不同的作用,原子团(自由基)。

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对于CVD工艺模拟,采用宏观和微观多层次模型模拟预测工艺和涂层的各种性能以及基体的附着力;通过模拟渗碳氮化工件的性能和应力,人们可以更好地控制和优化工艺。我国在这方面的研究正处于超台阶阶段。2010年在表面处理方面出现了许多新技术、新工艺。下面慧聪小编继续为您解读:复合表面技术迅速崛起随着单一表面技术的发展,综合运用两种或两种以上表面技术的复合表面技术发展迅速。

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