正如将固体转化为气体需要能量一样，电晕处理机原理及电路图产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）的混合物组成的。离子体可以导电并与电磁力发生反应。当温度升高时，物质从固体变成液体，液体会变成气体。当气体的温度升高时，气体分子就会分离成原子。如果温度继续升高，原子核周围的电子就会脱离原子，变成离子（正电荷）和电子（负电荷）。
在外加电场加速下，电晕处理机的电流多大部分电离气体中的电子与中性分子碰撞，并将从电场中获得的能量转移到气体中。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加，表现为温度的升高；非弹性碰撞导致激发（分子或原子中的电子从低能级跃迁到高能级）、解离（分子分解为原子）或电离（分子或原子的外层电子从束缚态转变为自由电子）。高温气体通过传导、对流和辐射向周围环境传递能量。在稳态条件下，给定体积中的输入能和损失能相等。
例如，电晕处理机原理及电路图在硅刻蚀工艺中使用的CF4/O2等离子体中，在压力较低时，离子轰击起主导作用，而随着压力的增加，化学刻蚀不断加强，逐渐起主导作用。工作气体的选择是否也会影响等离子体清洗效果？工艺气体的选择是等离子体清洗工艺设计的关键步骤。虽然大多数气体或气体混合物在很多情况下可以去除污染物，但清洗速度可以相差几倍甚至几十倍。
11.在无线电波范围内高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，电晕处理机原理及电路图使其深入到物体的微孔和凹陷处完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果（果子）和氟利昂清洗差不多，甚至更好。12.采用等离子清洗，可大大提高清洗效率。整个清洗过程可在几分钟内完成，因此具有收率高的特点。13.等离子清洗机要控制的真空度在Pa左右，很容易达到。
电晕处理机的电流多大
通常指带正电荷的阳离子的作用，阳离子有加速向带负电荷表面移动的趋势。在这种情况下，物体表面获得相当大的动能，足以移除附着在表面上的粒子。我们称之为溅射现象，通过离子的撞击在物体表面发生的化学反应紫外线具有很强的光能，能使附着在物体表面的物质分子键断裂和分解。此外，它具有很强的渗透性，可以穿透物体表面至几微米的深度。
电晕处理机原理及电路图
