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等离子体设备便是使用这类特异性成份对样品表面进行处理，以达到洁净、涂布等目的。 等离子体设备按汽体可分为特异性汽体和非特异性汽体等离子体:根据产生等离子体时运用的汽体的化学性质，氩气(Ar)、N2、氟化氮(CF4)、四氟化碳(CF4)、空气等不特异性汽体有不同的反应机理，但特异性汽体等离子体的化学反应特异性较高。气态、等离子体设备用来清洗的污染物也应有不同的选择。
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离子间碰撞达到热力学平衡的温度为Ti，广东真空等离子体处理机厂家即离子温度，在实际情况中Te与Ti一般是不同的。当在接近于大气压的高气压条件下进行放电，那么电子、离子、中性粒子会通过激烈碰撞而充分交换动能，从而使等离子体达到热平衡状态，电子温度和离子温度相近，属低温等离子体中的热等离子体。而等离子体清洗机在真空低压环境中产生的等离子体，常常处于非热平衡状态，电子温度远大于离子温度，属低温等离子体中的冷等离子体。
低温等离子设备主要由等离子发生器、气管、等离子枪等组成。低温等离子设备形成高压高频能量，广东真空等离子体处理机厂家在喷嘴钢管上激活并控制电弧放电形成低温等离子设备。等离子体通过压缩空气喷洒在工件表层。在低温等离子设备遇到处理表层时，会发生物理化学变化，表层清洁。但碳化氢污物外，如油脂、辅助添加剂等。根据材料成分，其表层分子链结构发生了变化。建立了自由基团，可以促进各种涂层材料的粘接，优化粘接和油漆的使用。
