(7)等离子清洗的最大技术特点是各种基材,等离子体为什么是电中性如金属、半导体、氧化物、高分子材料(聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯、聚酰亚胺)、聚酯、环氧树脂等,不分物体。处理。树脂和其他高分子材料)此外,您可以选择材料的整体、部分或复杂结构。 (8)在明确去污效果的同时,可以改变材料本身的表面性能,这在很多应用中都非常重要,比如提高表面的润湿性,提高薄膜的附着力。

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这三种物质由原子和分子组成。物质可以从一种能量状态转换为另一种能量状态(例如热)。当气态物质被加热到更高的温度或气体暴露在高能量下时,摄像头模组等离子体除胶设备气态变为第四态,等离子体。一些气体原子分解成电子和离子,而另一些则吸收能量成为半稳定原子并具有化学活性。在这种状态下,不仅有具有特定能量的中性原子和分子,而且还有相当数量的带电粒子和具有化学活性的半稳态原子和分子。电离自由电子的总负和等于阳离子的正电荷。

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Nasser,“气体电离和等离子电子学的基础”,John Wiley & Sons,1971 年,Chapman,“辉光放电过程”, John Wiley & Sons, 1980 两本经典著作全面介绍了等离子体的基本规律和现象。物理和工程领域的人可以从这两本书中了解等离子技能。下面简单介绍一些常用的等离子刻蚀技术。 2. 电容耦合等离子体(CCP)等离子体是一种部分电离的中性气体。

在等离子体中,自由电子与中性分子和原子发生碰撞,碰撞电离后得到更多的电子和离子。根据电子的能量,可以获得更丰富的离子和激发的高能中性粒子,也可以通过将电子吸附在中性气体表面获得负离子。由于原子分子物理学中每种气体都有自己的能级结构,高能电子可以将气体激发到不同的能级,当气体分子和原子从高能级返回到低能级时,会发射出不同能量的光子。代表不同的能量。通过分析光谱,可以有效地分析等离子刻蚀工艺。

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由于大量的自由电子,等离子体为什么是电中性它们通常不会随着电场的变化而移动。电容耦合等离子体的放电压力通常在几毫托到几百毫托之间。由于电子的质量远小于离子的质量,因此电子可以传播更远更远的距离,并与气体和墙壁发生碰撞。带来更多的电离,更多的电子和离子。电子在壁周围释放,只留下庞大的离子,但整个腔室必须是电中性的。因此,需要在墙壁上形成结构,以防止电子继续在墙壁周围循环。这种结构平衡了等离子体的电中性。

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