控制部分的主要电器部件有：真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
等离子清洗机常用的主机电源是13.56KHz频率的主机电源，真空电镀油漆附着力标准可以产生高等离子密度、软能量、低温，通常1-2千瓦，大功率5千瓦，小功率百瓦，多功率40千瓦，小功率百千瓦，多功率40KHz，中频功率40KHz，中频等离子清洗机主机功率，大功率5千瓦，小功率5千瓦，百千瓦，多功率功率40KHz，中频功率40KHz，能量柔和，温度低，正常功率1-2kW，高功率5kW，低功率数百kW，低功率数百KHz，多为40KHz，对真空等离子清洗机进行放电的射频清洗机的中频功率与正常室温相近。
样品放入反应室，油漆附着力检验仪器真空泵开始抽到一定真空度，启动电源就产生等离子体。气体通过反应室中的等离子体进入反应室，与样品表面反应，产生挥发性副产物，由真空泵抽出。真空等离子体清洁器等离子体是电中性的：一般等离子体是电中性的，但当受到扰动时，等离子体内部会发生局部电荷分离，产生电场。
不同类型的等离子清洗机使用的工艺气体不同，油漆附着力检验仪器气体流量控制器的选择也会有所不同。我们总结了一些选择气体流量控制器的小窍门，现与大家分享。1常压等离子体清洗机流量控制器的选择根据不同的放电形式，常压等离子体清洗机放电所需的气体条件也有特殊。普通射流式和射频式常压等离子体清洗机应引入满足一定压力和流量要求的压缩空气(CDA)，以产生稳定的等离子体，保证设备正常运行。
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在等离子机技术中，气体发射的分解在高能电子中起着决定性的作用。数以万计的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化为分子（原子）几乎内能，产生激发、电离、电离等进一步联系，气体就会活跃起来.在低势能（<10ev）下，电子产生反应性自由基，在体内（形成）后，发射的分子通过等离子体定向链化学去除。势能大于释放分子化学键的键能，使分子键断裂，释放断裂。
所以在微电子、半导体及线路板制作职业使用较广。 因氢气为危险性气体,未被电离时与氧气汇合会发生自爆,所以在等离子清洗机中一般是制止两种气体混合使用的。真空等离子状态下氢等离子呈赤色,与氩等离子相似,要相同的放电环境下比氩等离子色彩略深。
然后，打开产品并一起使用，观察腐蚀情况（工作场所温度控制范围：22°C +/- 6°C，湿度控制范围55% +/- 15%）。产品 A 是等离子清洁的，但产品 B 不是等离子清洁的。连续通电实验（200小时）后的情况如下。产品 A 在 71.5H 上电时出现第一条缺线，在 77H 上电时出现第二条缺线。 B为4.5H，通电。这表明缺少四行。
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