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等离子体中的高能反应基团与表面碰撞,电泳漆附着力不好引起溅射、热蒸发或光解。等离子专用清洗工艺主要是基于等离子溅射和蚀刻所带来的物理和化学变化。在物理溅射过程中,等离子体中高能离子的脉冲表面撞击会导致表面原子的位移,在某些情况下,会导致表面下原子的位移,因此物理溅射不是选择性的。在化学蚀刻过程中,等离子体中的反应基团可以与表面原子和分子发生反应,并抽出产生的挥发物。

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等离子清洗还具有以下特点:易于采用数控技术,自动化程度高;采用高精度控制装置,时间控制精度很高;正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,确保清洗面不受二次污染。。等离子体清洗机的关键是低温等离子体的应用,低温等离子体的应用主要取决于高温、高频、高能量等外界条件。它是一种电中性的、高能的、完全或部分电离的气态物质。

等离子体虽然在宇宙的其他地方很丰富,但只存在于地球上的特定环境中。等离子体的自然存在包括闪电和北极光。正如将固体转化为气体需要能量一样,产生等离子体也需要能量。一定量的等离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)的混合物组成的。等离子体可以导电并与电磁力发生反应。当温度升高时,物质从固体变成液体,液体会变成气体。当气体的温度升高时,气体分子就会分离成原子。

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