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由于功率范围基本恒定,电感耦合等离子体光源有几部分组成优点是什么因此频率是影响等离子体自偏压的重要参数。随着频率的增加,自偏置电压逐渐降低。此外,随着频率的增加,等离子体中的电子密度逐渐增加,但平均粒子能量逐渐降低。等离子表面处理技巧,如何改变材料表面的润湿性能什么是表面处理?固体材料的表面能和聚合物表面处理的要求。一般来说,塑料材料应该粘在金属或其他塑料材料上,或者简单地印在塑料表面上。为了成功,液态胶水或墨水必须能够润湿材料表面。

例如硅片刻蚀工艺中使用的CF4/O2等离子在低压下起主导作用,等离子体自偏压随着压力的升高,化学刻蚀不断加强,逐渐起主导作用。..电源功率与工作频率对等离子清洗效果的干扰:电源的输出功率会干扰等离子的所有参数,如电极温度、等离子产生的自偏压、清洗效率等。随着输出功率的增加,等离子清洗速率逐渐增加并稳定在峰值,但自偏置电压随着输出功率的增加而增加。由于输出功率范围基本恒定,因此工作频率是防止等离子体自偏压的重要参数。

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n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中,n11、n2和n3分别表示以下。 n11为C2烃产物中C2H6的摩尔分数,mol/%,n12为C2烃产物中C2H4的摩尔分数,mol/%;n13为C2烃产物中C2H2的摩尔分数,比率为摩尔/%。

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