一些非聚合物无机气体(Ar2、N2、H2、O2 等)在高低频下被激发,电极表面活化能产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说,在等离子清洗中,活性气体可以分为两类。一种是惰性气体(Ar2、N2 等)的等离子体,另一种是反应气体(O2、H2 等)的等离子体。等离子体产生的原理如下。对一组电极施加射频电压(频率约为几十MHz),在电极之间形成高频交流电场,该区域的气体被交流电场激发而产生等离子体。
称为电晕放电,铁电极表面如何被刻蚀活化电压和频率、电极间距、处理温度和时间都会影响电晕处理的有效性。电源电压越高,频率越高,加工强度越高,加工效果越好。但是,如果电源频率太高或电极间隙太宽,就会出现电极过多。如果电极间距太小,则会出现感应损耗和能量损耗。当加工温度高时,表面特性迅速变化。处理时间越长,极性基团越多,但如果处理时间过长,则可能在表面形成分解产物,形成新的弱界面层。
辨别真空等离子清洗机正负电极板的方法如下:我们打开真空等离子清洗机的反应仓,电极表面活化能会发现里面安装有若干电极板(亦有样品托盘的作用)。那么哪个是正极板,哪个是负极板呢。一般来说在真空等离子清洗机反应仓的后部安装有两个铜电极,其中左边为负极,右边为正极。每个电极条上有输出端与仓体侧壁的铝支撑对应。
当没有施加电场时,铁电极表面如何被刻蚀活化整个铁电体的外部不显示极化状态,因为空间中的畴取向是随机的。但是,在足够强的外电场作用下,电场的偶极矩向外电场方向转移。这形成了极化强度(极化电荷)和外加场强(电压)电位回路。磁滞钱围起来的面积代表了每单位体积铁电体在每个电场变化...