等离子表面处理设备密封条的发展趋势和存在的问题随着对汽车密封条要求的不断提高，POM亲水性对密封条的要求也越来越高。新工艺、新材料不断涌现，加工工艺也会越来越复杂。如近年来，随着热塑性弹性体技术的不断发展和成熟，TPO、TPV等新型热塑性弹性体材料在汽车密封条中的应用越来越受欢迎。这些材料既有弹性体的优良性能，又有塑料的优良特性，既方便加工，又可以回收再利用，这些材料正在逐步取代EPDM产品。
经等离子清洗机处理后，POM亲水性IP胶与DIW的接触角显著降低:IP胶广泛用于0.25 IP3600是0.25dr Hline掩模常用的光阻剂。即使在相移掩模技术的130nm工艺的二次掩模加工中，仍会使用IP胶。IP胶粘剂是一种基于酚醛树脂的光刻胶。IP胶粘剂与Poly胶粘剂的主要区别在于其胶体表面具有明显的抗分解现象，即亲水性差。IP胶粘剂亲水性差，显影时显影剂难以均匀作用于胶粘剂表面，造成缺陷或显影不完全。
例如，POM亲水性如果Polysilicon的Critical Dimension大于Hardmask的Critical Dimension，并且偏移侧壁厚度不够，那么在后续的PCOS SILICON RECESS（PSR）等离子表面处理器蚀刻中，偏移侧壁间隔会消耗更多。 . 增加。随后的硅-锗外延生长以保护顶部的多晶硅增加了硅-锗外延将在多晶硅顶部生长以形成缺陷并导致器件故障的可能性。
2. 等离子蚀刻材料的处理在等离子刻蚀过程中，POM亲...
