综上所述40KHz中频等离子清洗机的作用主要为物理撞击反应，附着力促进剂kh-560其撞击力度大，对被清洗表面影响最大；13.56MHz射频等离子清洗机主要为物理加化学反应（需要采用氧气、氢气、氩气等气体，如采用单独氩气则为单独物理反应），其撞击力度适中，可以去除零件表面残留的灰尘、一般氧化层等杂质。。等离子清洗机的工作原理是通过将注入气体激发成等离子体，等离子体由电子、离子、自由基、光子以及其他中性粒子组成。
真空等离子清洗机的三个关键部件是控制模块、真空腔和真空泵。控制模式包括手动、自动、计算机控制和 LCD 触摸屏操作。控制模式分为两部分：开关电源的控制模式和自动化控制系统的控制模式。电源由40KHz、13.56MHz和2.45GHz等几种工作频率组成。自动控制系统由按钮（手动、自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制器）等方式组成。结构如下：错误的。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，附着力促进剂kh-560分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。 2.真空腔体真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体。2）石英腔体。 3.真空泵真空泵分为两种： 1）干泵。 2）油泵。
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