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等离子表面处理机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学等科学研究的各个方面。高分子科学、生物医学、微流控等领域04-大学实验室等离子表面处理机技术规格:>>腔体材料:不锈钢/石英腔>>工作气路:2通道,5mpa附着力MFC控制可选>>无线频率频率:40KHZ >> 射频功率:0-200W/300W可选,可调“工作压力:样品室200PA以内,可根据进气量自动调节。

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等离子清洗设备的基本构造:根据用途的不同,pa附着力促进剂那种好可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不用种类的气体,调整装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵、高频电源,设备的运行过程如下:(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。

工业中应用的两种典型射频等离子体发生器分别为:电容耦合等离子体(Capacitively Coupled Plasma,pa附着力促进剂那种好CCP)发生器,如图中(a)所示,以及电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)或变压器耦合等...

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