等离子体是物质的一种状态，下面不属于表面改性技术又称物质的第四种状态，不属于常见的固体、液体和气体状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。活性组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗剂是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、镀膜等目的。
等离子体是物质的一种状态，下面不属于表面改性技术又称物质的第四种状态，不属于常见的固体、液体和气体状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子清洗仪通过等离子体的“活性”成分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。从机理上看:等离子体清洗仪在清洗工作气体的电磁场作用下，等离子体与物体表面产生物理反应和化学反应。
等离子体是物质的状态，下面不属于表面改性技术也称为物质的第四态，不属于固液气的三种一般状态。当向气体施加足够的能量以使其电离时，它就会变成等离子体状态。穿过等离子体的等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。从力学上看：等离子清洗装置清洗时，工作气体在电磁场作用下激发的等离子体与物体表面发生物理化学反应。
早在20世纪80年代，不属于表面改性技术国外就开始研究开发大气等离子体，并在国际上形成了声势浩大的研究热潮，为大气射流等离子体清洗机的发展奠定了良好的基础。下面我们来谈谈喷射等离子清洗机的一些基本知识。上世纪90年代初，小沼等人研制出微束等离子体装置。该装置放弃了对大面积均匀性的要求。在直径2mm范围内，CF(1%)/He作为放电气体，射频功率70W，在硅片上获得了5nm/s的刻蚀速率。
