1、表面处理油污去除（久美特表面处理厂家）铸铝件的表面处理 等离子体表面处理器在低温ECR刻蚀过程中增加O2的相对流量时，表面处理油污去除硅的刻蚀速率会明显提高，F含量与O2含量的比值在刻蚀过程中起着重要作用。并且在当今的生产过程中，等离子体表面处理器的低温等离子刻蚀工艺无法广泛应用的主要困难在于，在实际生产过程中很难将晶圆衬底保持在很低的反应温度下，整个刻...
