优点：（大气型快速量产）2、（真空等离子清洗机）原理也是一样的，为什么自喷漆附着力不好在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品面，以达到清洗目的。优点：（真空型精密全面）。
电晕等离子处理器技术是一种新的半导体制造技术。该技术以前应用于半导体制造领域，为什么自喷漆附着力不好是必不可少的半导体制造工艺。因此，它是集成电路加工中一项长期成熟的技术。由于电晕等离子处理器产生的等离子是一种高能量、高活性的物质，它对所有有机材料都有极好的蚀刻（效果）效果。电晕等离子处理器生产的等离子产品是干法工艺，由于不会造成污染，近年来被广泛用于半导体产品的生产中。
1、将样品置于舱内；关闭三通阀(箭头朝下)；紧握清洁机门，什么自喷漆附着力强接近真空室；打开真空泵的电源开关，等待几分钟等待抽空舱内空气的释放，清洁机门。2.抽气，打开与室内空气相通的三通阀(lever指向针形阀needlevalve)；轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(首先关闭needlevalve)。形成一个等离子体。
根据清洗材料的不同，为什么自喷漆附着力不好可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气。（3）在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解，通过辉光放电产生电离和等离子体。让真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。（4）清洗后，切断高频电压，并将气体和汽化的污物排出，同时吹入真空室，并使气压上升到一个大气压。
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