化学催化。然而，关于表面改性的巨著C2烃类产物的选择性较低，反应机理尚不明确，因此在等离子体影响下甲烷CO2氧化对C2烃类的反应有待深入研究。发射光谱可用于有效检测等离子清洗机中紫外可见波段的多种激发态物质。对等离子体响应系统的干扰允许进行原位分析。近来，关于发射光谱原位诊断技术在等离子体系统中应用的研究报告越来越多，尤其是等离子体条件下甲烷-H2金刚石薄膜沉积系统的研究。
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在等离子体与材料表面的相互作用中，关于表面改性的巨著波的长度和能级起着重要的作用。氮气作为一种惰性气体，在等离子体清洗过程中主要作为一种非活性气体使用。氮等离子体处理可以提高材料的硬度和耐磨性。在某些情况下，氮也可以作为一种反应气体，形成氨的化合物。在更多的情况下，氮被用于等离子清洗机或作为一种非活性气体。。关于等离子清洗机的工频，通常频率越高，
