1、前驱附着力（前置前驱附着力大小） CVD硬质涂层工艺主要用于硬质合金涂层，前驱附着力通常在较高的温度下使用，如果使用特殊的前驱体，则允许较低的反应温度。然而，这种方法在合成复杂亚稳态膜时受到环境保护和热力学规律的限制。与CVD法相比，PVD法更环保，根据热力学规律更适合于三元、四元多组分超硬膜的沉积。这种方法通常在较低的沉积温度下使...
