氧等离子体的形成过程可以用以下六种反应来表示:1)O2-O2+e(1)2)O2-2O(2)3)O2+e-O2+e(3)4)O2+e-O2+hv+e(4)5)O2+e-2O+e(5)6)O2+e-O+O+2e(6) 首先是氧气分子在获得外部能量后变成氧气阳离子，附着力用f什么表示然后释放自由电子的过程。其次是氧气分子在获得外部能量后分解形成两个氧原子官能团的过程。
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气体放电中常用的有辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频放电和微波放电等。在等离子体中，附着力用f什么表示不同粒子的温度实际上是不同的，温度与粒子的动能即运动的速度和质量有关，等离子体中离子的温度用Ti表示，电子的温度用Te表示，而原子、分子或原子团等中性粒子的温度用Tn表示。当Te远高于Ti和Tn时，即此时气体的压力只有几百帕斯卡。
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