等离子体是物质的一种存在状态，原子灰检测附着力的方法通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
借助等离子体等离子体中的离子或高活性原子，原子灰检测附着力的方法敲除表面污染物或形成挥发性气体，再由真空系统带走，实现表面清洁目的。等离子体形成过程中，在高频电场中处于低压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子，在辉光放电条件下可分解为加速原子和分子。这样产生的电子在电场中加速时，会获得高能量，与周围的分子或原子发生碰撞。因此，电子在分子和原子中被激发，它们处于被激发或离子状态。此时，物质存在的状态是等离子体状态。
正如将固体变成气体需要能量一样，原子灰检测附着力的方法产生离子也需要能量。一定量的离子是带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）的混合物。离子导电并且可以对电磁力作出反应。随着温度的升高，物质从固态变为液态，从液态变为气态。当气体温度升高时，气体分子被分离成原子。随着温度继续升高，原子核周围的电子与原子分离，形成离子（正电荷）和电子（负电荷）。这种现象称为“电离”。通过电离而带有离子的气体称为“等离子体”。
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