当气体变稀时，氧等离子除胶机分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离会更长。它们在正负场的作用下发生碰撞，形成等离子体。这种离子具有足够的反应性和能量来破坏几乎所有的化学键，从而在暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如，氧等离子体具有很高的氧化性能，可以将光刻胶氧化成气体，达到清洗的目的。蚀刻气体等离子体具有良好的各向异性，可以满足蚀刻需要。
化学式表明典型的PE工艺是氧或氢等离子工艺。在与氧等离子体发生化学反应后，台式射频氧等离子体清洁器非挥发性有机化合物转化为挥发性 CO2 和水蒸气。去除污垢并清洁表面。离子氢用于通过化学反应去除金属表面的氧化层，清洁金属表面。反应气体在一定条件下电离形成的高活性反应颗粒与待清洁表面发生化学反应，产物是一种可去除的挥发性物质，即洗涤气体的化学成分。在成分方面，选择正确的反应气体成分非常重要。
发生活性氧离子化学反应，台式射频氧等离子体清洁器形成CO、CO2、H2O等分子结构，与表面分离，达到清洁表面的目的。氧气主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，但不适用于易氧化的金属表面。处于真空等离子体状态的氧等离子体看起来是蓝色的，类似于局部放电条件下的白色。放电环境中的光线比较亮，用肉眼观察可能真空室内没有放电。 2 氢 氢与氧相似，被归类为高活性。气体可以使表面恢复活力和清洁。
* 生物芯片和微流控芯片的清洁。 * 清洁贴有凝胶的电路板。 * 高分子材料的表面改性。 * 牙科材料、人工植入物、医疗器械的杀菌消毒。 * 提高用于粘合光学元件、光纤、生物医学材料、航空航天材料等的粘合剂的粘合性和强度。等离子清洁器产品特点： * 紧凑型台式设备，台式射频氧等离子体清洁器无射频辐射，符合 CE 安全标准。 * 功率可...
