近十几年来,低温等离子体在金属材料表面改性中得到了广泛的应用。它改变了金属材料的表面力学特性,即材料的磨损、硬度、摩擦、疲劳、耐腐蚀等性能。主要体现在:
(1)为提高金属表面抗腐蚀能力,通过对铁和钢合金进行离子束渗氮来提高其摩擦和耐腐蚀特性。目前采用等离子源离子注人的方法,它区别于单能量的氮离子注入法,样品浸没在等离子体中并加上高负电压脉冲。在电场中,这些离子被加速而注人到样品中;在注人过程中,与常规束线离子注入相似,用高能离子在材料表面近距离区域注人。与其不同的是,离子从四面八方同时注人到样品上而没有视线限制,因此可以处理形状较复杂的样品,且注入粒子的能量范围宽。
(2)提高金属的硬度和磨损特性离子注人金属表面可以形成金属固溶体和沉积物,故可提高金属材料的硬度用氮等离子源离子注人法对奥氏体不绣钢进行渗氮,结果与未渗氮的样品相比...