在线真空等离子清洗机是在现有成熟的等离子体清洗工艺技术和设备制造基础，增加设备自动化功能，结合目前研制的常规等离子清洗设备，制造出的适用于大规模生产的集成电路在线式等离子清洗设备。系统采用全自动运行方式，可与上下游生产工序连线，满足器件封装行业大规模生产要求，彻底去除表面有机污染物氧化物等的微残留颗粒和有机薄膜，大幅度改善表面性质，提高后续工序中如焊接、封装、粘结的可靠性，从而保证电子产品在恶劣环境状况下的高精度和高可靠性。
在线真空等离子清洗机工作原理如下：
在线真空等离子清洗机结构如图所示，总体分为四个部分：设备主体、上下料系统、物料传输系统和等离子清洗系统。
在线真空等离子清洗机结构示意图在线真空等离子清洗机工作原理：上下料系统实现料盒的自动存取功能，物料传输系统则将单个物料从料盒中取出，以四张为一批送入等离子腔体，随后等离子清洗系统完成四张物料的清洗工作，再由物料传输系统将清洗后的物料送回料盒中，并重复以上流程直到料盒中所有物料清洗完毕。设备主体则为以上三个系统提供结构安装平台，同时承载相应的电气控制元件。
在线真空等离子清洗机系统中各个机构说明如下：
1)上料台：主体为铝制板材，用来放置未清洗物料料盒，通过电机带动皮带将料盒移动到料盒夹中。
2)下料台：同样采用铝板搭构，用来放置清洗后物料料盒，通过电机带动皮带将料盒从料盒夹中取出。
3)过度桥：铝型材为支撑柱，在铝板上安装陶瓷轨道，轨道数量可根据客户需求调整，物料通过此桥往返于料盒与里外托盘之间。
4)料盒夹：主体为无杆气缸，通过气缸伸缩动作实现夹紧及释放料盒功能。
5)料盒垂直移动机构：由电机及丝杠组成，被料盒夹夹住的料盒通过此机构实现垂直与地面的竖直方向运动，使料盒中每层...
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