在半导体、LCD等产品的制造过程中，电晕机如何维修可以使用等离子清洗机对表面进行清洗，也可以改善其表面，如去除残留的光刻胶、污染物、溢出的环氧树脂等，还可以使用等离子清洗机活化其表面性能，以增加表面的焊接和封装能力。除制造工艺外，还可用于FA或QA实验室。
除用于制造过程外，电晕机如何减少臭氧溢出还可用于FA或QA实验室。对于光电器件、LCD等设备，真空等离子清洗机可用于表面层的清洗，还可改善表面层残留的光刻胶、污物和溢出的环氧树脂。等离子清洗机也可用于表面层的特性处理。除用于制造过程外，还可用于FA或QA实验室。真空等离子体清洗机的特殊设计构思，能保证更好的清洗室内空间，等离子体分布对称；其控制界面友好，能以菜单方式工作和控制。
为增强其密封功能，电晕机如何维修在封盖压紧处采用丁腈橡胶硫化工艺制作胶圈。但橡胶硫化后往往溢出多余的化合物，污染待涂覆表面，造成涂覆后涂层附着力下降，涂覆后涂层容易掉落。而常规的清洗方法不能完全去除胶料带来的污染，因此会影响口套的正常使用。等离子清洗后涂层层附着力与常规清洗相比有明显的提高，满足航空涂层规范的要求。2航空航天电连接器航空航天领域对电连接器的要求非常严格，未经表面处理的绝缘子与线封体的粘接效果很差。
上下电极(BE、金属C、金属D）和电阻层均为逻辑后台工艺所用材料；电阻层中的HfO2和TiN、Ti、W电极材料是逻辑工艺中常见的材料，电晕机如何维修不存在交叉污染问题。目前RIE/ICP仍广泛应用于RRM的刻蚀。存在存储单元蚀...
