清单：超声波等离子体（工作频率，宁波真空等离子清洗机报价40kHz）一般是物理反应，微波发生器等离子体（工作频率，2.45GHz）一般是反应。射频等离子体（工作频率，13.56 MHz）通常是物理化学的和反应性的。 (2)工作气体的种类对等离子表面的清洗方式也有一定的影响。例如，由惰性气体 Ar2、N2 等激发产生的等离子体主要依赖于冲击。它对材料表面进行清洗，但由活性气体O2、H2等激发产生的等离子体主要用于化学清洗。
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