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在固体、液体和气体之后,对有色金属好的附着力树脂等离子体是物质的第四种状态。等离子体是一团带正负电荷的粒子由气体形成,同时也含有中性气体原子、分子和自由基。有机质主要是由C、O元素组成的化合物。等离子体利用电极放电对有机物进行清洁,主要针对一些活性较弱的惰性物质。这类材料不易被酸碱激活,可被等离子体中的离子或活性自由基激活,电离后材料蒸发;对于清洗后残留的小杂质,则利用中等大小气体分子通过高速撞击产生的动能进行去除。

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常见的有:多环芳烃,对有色金属好的附着力树脂如并五苯、红苯等;聚合物,如聚合物(3-己基噻吩),能够通过等离子体处理器的等离子体处理来激活和修饰有机半导体。通过等离子体抛光绝缘层表面,使有机材料沉积更加均匀平坦,从而大大提高了器件的迁移率,改善了器件的功能。等离子体清洗机对有机半导体器件的活化与改性装置的性能明显提高。。

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