1、横向附着力最大（横向附着力和横向摩阻力）抱死后横向附着力 通过改变等离子清洗机的等离子特性、腔侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、影响输出结果的侧翘和等离子损伤例如临界尺寸。通过调整等离子体内部和晶圆表面上发生的化学和物理反应过程，横向附着力和横向摩阻力它可以调整对优化蚀刻结果很重要的等离子体特性。电子能...
2、附着力是抱死拖滑的（接触表面的附着力是指什么） 二、plasam表面处理技术： plasam表面处理机由等离子发生器、输气管、低温等离子喷头等部件组成，接触表面的附着力是指什么plasam喷头形成高压高频率能量，通过低温等离子喷射和控制放电形成低温电浆，利用压缩空气将低温等离子喷到工件表面，与被处理物体表面接触时，形成物体变化和化学反应。偶然接触...
