通过改变等离子清洗机的等离子特性、腔侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、影响输出结果的侧翘和等离子损伤例如临界尺寸。通过调整等离子体内部和晶圆表面上发生的化学和物理反应过程，横向附着力和横向摩阻力它可以调整对优化蚀刻结果很重要的等离子体特性。电子能量分布 (EED) 和离子能量分布 (IED) 因为电子和离子的能量分布极大地影响离子与晶片表面之间的反应速率。
清洗后，抱死后横向附着力没有有害污染物生态环境保护，这一备受关注的全球环境保护问题日益显示出其重要性。。包装缺陷主要包括铅变形、基偏差、翘曲、切屑破裂、分层、空腔、包装不均、毛刺、异物、不完全固化、铅条变形铅条变形通常是指铅条因塑料密封胶的流动而产生的位移或变形，通常用铅条的最大横向位移x与长度L的比值x/L表示。引线弯曲会导致电气短路(特别是在高密度I/O设备封装中)。
由于正负极是交错的，横向附着力和横向摩阻力因此，在同一帧内，正负极之间的横向距离会减小，这样在相同宽度的帧内，就可以安装更多的正负极，提高等离子体产生效率，进而提高空气净化效果。主要要求:1。
所以罗茨真空泵是在转子同步、反向旋转的推动和压力作用下，横向附着力最大从进气处吸入空气，进入转子与泵壳之间的空间，然后通过排气管排出，从而达到真空。真空等离子清洗设备罗茨真空泵的分类:根据放置在泵体内的两个转子的位置，将泵分为三大类:两根真空泵的转子的轴线是横向排列,但飞机由两个转子的轴线垂直于水平面,水平根真空泵:两根真空泵的转子的轴线是横向排列,两转子和轴横向排列。
抱死后横向附着力
在相对较大的加热区域，由于温度升高，材料继续热膨胀，相邻区域的冷材料必须限制膨胀，因此在加热区域整体产生较大的压缩应力的同时，由于温度升高，材料的屈服应力()低，加热区域的材料不仅产生压缩塑性应变，而且加热区域的材料不稳定板料背侧弯曲变形的增加，进一步增加了压缩塑性区。因此，此时板材背面材料的压缩塑性应变值远远大于正面的压缩塑性应变值，导致板材背面的横向收缩大于正面的横向收缩，反向弯曲变形大。
增加、减少材料屈服应力、加热面积不仅材料产生压塑性应变，而且受热区材料的不稳定性增加了板材背面的弯曲变形，进一步增加了压塑性区。因此，此时板材背面材料的压缩塑性应变值远大于正面的压缩塑性应变值，板材背面的横向收缩如下。比正面大，反向弯曲变形大。在冷却过程中，随着温度的下降，板材的顶面和底面开始收缩，降低了底面的塑性应变，增加了顶面的塑性应变。
1、等离子发生器冷却等离子发生器是等离子清洗机的核心部件，大型的等离子发生器在工作时会产生大量的热量，为了确保等离子清洗机的正常运作和不被损坏，这时候就需要用到工艺冷却水对等离子发生器进行冷却降温。2、干式真空泵冷却干式真空泵在使用时机械之前会产生摩擦从而将温度升高，为了不出螺杆抱死，导致报废，所以需要要在干式真空泵在使用时进行工艺冷却水降温。
等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大，首推电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。等离子清洗已应用于各种电子元件的制造，可以确信，没有等离子清洗技术，就没有今日这么发达 的电子、资讯和通讯产业。此外，等离子清洗技术也应用在光学工业、机械与航天工业、高分子 工业、污染防治工业和量测工业上，而且是产品提升的关键技术。
抱死后横向附着力
三、等离子加工的优点和作用(1)等离子处理后，抱死后横向附着力被清洗物非常干燥，不需要再次干燥。 (2)不使用有害溶剂，不使用有害污染物。环保绿色清洗方法； (3)高频范围内的高频产生的等离子体没有方向性，可以穿透物体的微孔和凹痕，特别适用于清洁盲孔和微孔。电路板制造； （4）效率高，整个清洗过程几分钟即可完成； (5)等离子清洗最大的技术特点是可以处理各种基材。
超声波等离子体的反应是物理反应，横向附着力最大射频等离子体的反应是物理反应和化学反应，微波等离子体的反应是化学反应。超声波等离子体清洗对被清洗表面的影响最大，因此射频等离子体清洗和微波等离子体清洗在半导体生产应用中多使用。超声波等离子体在表面脱胶和毛刺磨削方面效果最好。典型的等离子体物理清洗过程是用反应室中的氩气作为辅助处理进行等离子体清洗。氩本身是惰性气体，不与表面发生反应，而是通过离子轰击来清除表面。
