利用等离子体能量对物体表面进行处理，无溶剂复合机电晕处理机可以准确、有针对性地提高材料表面的附着力和润湿性。这样，便于在工业上使用新型（甚至完全非极性）材料，以及环保、无溶剂、无挥发性有机化合物的涂料胶粘剂<；目前，许多化学表面处理工艺可以被等离子体处理技术所取代。
为了更好地控制这些等离子体特性，无溶剂复合机电晕处理机一般通过控制电子能量分布(EED)和离子能量分布(IED)来实现，因为电子和离子的能量分布很大程度上影响着离子与晶圆表面的反应速度。一般来说，等离子体清洁电子影响激发、电离、分解和热扩散等过程，从而影响许多中性反应物的通量、能量和表面反应速率。离子可以传递足够的能量促进表面化学反应过程，诱导溅射，从而影响反应离子的通量和能量，以及离子参与的表面反应速率。。
通过对纤维表面形貌的观察，无溶剂复合机电晕处理机发现CF4气体改变了纤维的润湿性，使纤维与水的接触角从0°变化；上升到136℃；这表明氟原子已经注入到纤维表面。研究了低温等离子体对丝状织物各项性能的影响。发现低温等离子体处理后织物的毛细效应和上染率均有所提高。。低温等离子体撞击材料表面有两种不同的反应，不仅产生物理冲击，还会对材料表面产生化学腐蚀。材料的表面改性是通过切割或激活材料表面的旧化学键来实现的。
在进入电镀过程之前，电晕处理对薄膜的影响外壳表面不可避免地会产生各种污垢，包括灰尘、固体颗粒、有机物等，同时由于自然氧化会产生一层氧化层。电镀前必须对镀件表面进行清洗，否则会影响镀层与基体的结合力，造成镀层剥落起泡。传统上通常采用甲苯、丙酮、乙醇等有机溶剂去除此类污染物。但这种方法一方面不彻底，容易造成涂层缺陷；另一方面会增加生产成本，造成环境问题。
