等离子体清洁的工作原理是激发注入由电子、离子、自由基、光子和其他中性粒子组成的等离子体中的气体。由于等离子体中存在电子、离子、自由基等活性粒子，常用的亲水性材料很容易与固体表面本身发生反应。反应的种类分为物理反应和化学反应。物理反应主要以冲击的形式将污染物与表面分离，然后通过气体将它们带走。化学反应是活性粒子之间的反应。产生挥发物然后被带走的污染物。在实际使用中，AR气体通常用于物理反应，而O2或H2用于化学反应。
接通电源后，spe最常用的亲水性材料对电极板进行充电，形成电位差。一旦集中到一定程度，两极之间的气体就会被激发并电离形成离子。等离子清洗机使用一段时间后，放电不良的原因如下。由于电极板经常用作托盘并插入和取出电极，因此某些电极头可能会磨损或变质。长时间接触； 电极头长时间使用和表面氧化增加电阻会导致放电不稳定和加工效果不足。电极板使用时间长，可能会受到污染物的影响。
目前，常用的亲水性材料根据我们常用的低温等离子体处理器，常用的辅助处理应用包括：半导体集成电路及其他微电子器件制造工具、模具和工程金属的硬化生物相容性药物包装材料的制备表面防腐及其他薄层的沉积特种陶瓷（含超导材料）新化学品和新材料的制造金属的精炼聚合物薄膜的印刷与制备危险废物处置焊接磁记录材料和光波导材料精加工照明和显示电子电路与等离子体二极管开关等离子体化工（氢等离子体热解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体热解重烃、等离子体炭黑、等离子体电石等）................。
活性气体电离产生的高活性活性颗粒在一定条件下与待清洁表面发生化学反应。反应产物是挥发性的并且可以被泵出。根据被清洗的化学成分选择合适的反应气体成分非常重要。 PE具有表面改性、清洗速度快、选择性好、对有机污染更有效...
