另一方面，氧化膜与基体的附着力比较当各种活性粒子与被清洗物表面接触时，各种活性粒子与被清洗物表面的杂质发生化学反应，产生挥发性气体等物质，将挥发性物质吸走。将物质放入真空泵中。例如，ROS 等离子体氧化材料表面的有机物质。反之，随着各种活性颗粒与清洗剂表面碰撞，材料表面的杂质被真空泵的气流吸收。等离子表面处理机本身不会引起化学反应，不会在被洗物表面留下氧化物，因此可以更好地保持被洗物的纯度，保证材料的各向异性。
清洗工作在真空中进行，附着力比较好的莫斯清洗过程对环境安全（safe），不太可能造成环境污染，表面清洗不太可能是二次污染。真空等离子清洗机使用两个电极形成一个电磁场和一个真空泵来达到有效的真空度。它们碰撞形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场中的空间运动，不断冲击被处理表面，去除表面油污、表面氧化物、灰分表面有机物等化学物质，使表面处理的清洁效果达到蚀刻（果）。
在 0.5 mg/ml 时，附着力比较好的莫斯石墨烯没有表现出明显的杀菌能力，但在 0.02 mg/ml 浓度下处理的氧化石墨烯可以灭活几乎 90% 的细菌。热等离子体是我们研究组的一项重要举措。
③Ar等离子清洗机活性的汽体辅助 在等离子清洗机的活性和清理加工过程中，氧化膜与基体的附着力比较加工过程的汽体经常被混和运用，以实现更好的预期效果。鉴于Ar的化学结构式比较大，在进行表面清理和活性时通常会组合活性的汽体混和运用。广泛的则是Ar和氧气的混和。
