等离子体表面活化清洗技术用于液晶玻璃表面的清洗，超亲水性泪道引流管去除杂质颗粒，提高材料的表面能，使成品率提高一个数量级。同时，由于射流等离子体是电中性的，在处理过程中保护膜、ITO膜和偏振滤波器不会受到损坏。此过程可在线全程进行，且无溶剂，更环保。玻璃的主要材料是二氧化硅，它本身比较脆弱。在实际使用中，往往需要在玻璃盖板上涂一层保护膜。在生产过程中，保护膜需要通过等离子体活化改性来提高表面附着力。
当等离子气体为不能产生聚合物单体分子的气体时，超亲水性泪道引流管如空气、氧气、水蒸气、惰性气体、二氧化碳等，其表面性质的不同主要是由于材料表面引入了官能团。当使用更高的功率或等离子体中的高能粒子数量较多时，这些粒子和等离子体中的紫外光与材料表面发生碰撞，从而对材料表面进行蚀刻、交联和表面活化。 . 当聚合物表面上一条链的自由基与另一条链的自由基结合形成键时，聚合物表面发生交联。
Liu选用流柱放电形式，二氧化钛超亲水性机理以He为平衡气(占总气体流量的60%~80%)，在必定的放电功率下，根据二氧化碳与CH4摩尔比差异，甲烷转化率介于20%~80%，二氧化碳转化率介于8%~49%，C2烃收率介于20%~45%。在电浆清洗机作用下直接转化CH4和二氧化碳，一步制取C2烃，反应主要C烃产物为C2H2和C2H6，等离子体功率增加有利于生成C2H2。
例如，二氧化钛超亲水性机理电极采用附加曲流管的方法或通过冰水的方法，可以大大提高散热效果。 2、在真空状态下，气体往往分散，难以形成对流。等离子清洗机腔内的热量也受到真空泵的限制。如何改善：增加进气量或提高泵速，但要考虑排气的真空度和等离子处理的效果。在其他方面，等离子发生器的选择、功率尺寸设置、真空室尺寸和电极结构设计也有助于改...
