因此，氧化锌具有亲水性在进行下一步之前，应将这些污染物清洗干净，以确保后续工序的质量。玻璃盖的超声波清洗通常会留下肉眼看不见的有机物质和颗粒。这绝对是填补了下一道工序的隐患。等离子清洗机可以更彻底地清洁玻璃盖。对玻璃盖表面的主要清洁作用是活化有机污染物与碳氢化合物发生化学反应，生成二氧化碳和水，并将它们从玻璃表面去除。盖好方便下一步。蚀刻、涂层、粘合等工艺可以显着提高产品良率。
虽然后段电介质间距比同节点的栅极氧化层厚度厚很多，氧化锌具有亲水性例如先进技术节点的栅氧化层只有2nm左右，后段电介质间距能达到35nm左右，但因为材料性质和工艺复杂的原因，low-k击穿问题面临的挑战不亚于栅氧化层击穿。
通过添加特殊气体和处理技术，氧化锌具有亲水性样品可以具有疏水作用。 3.您可以单独控制双气路和多气路。真空等离子清洗机的性能特点： 1.清洁金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料和聚合物表面（石蜡、油、脱模剂、蛋白质等）上的有机污染物。 2.更改材料的表面属性。 3 可以活化玻璃、塑料和陶瓷等材料的表面，提高这些材料的附着力、相容性和润湿性。四。去除金属表面的氧化物。
在催化活化CO2氧化 CH4制C2烃反应中，氧化锌具有亲水性La203/ZnO给出了高达97%的C2烃选择性（850℃时甲烷转 化率为2.1%），Maraffee等的研究表明：在电晕放电作用下，以La203为主体的催化剂给出了较高的CH4转化率（27.4%）和C2烃收率（10%）。因此，本次着重研究了La、Ce、Pr、Sm、Nd五种负载型镧系氧化物催化剂对等离子体作用下CO2氧化CH4制C2烃反应的催...
