低温等离子表面清洁剂也常用于处理手机外壳。随着现代技术的发展，氮气的等离子体表面改性移动设备的种类不仅多样，而且美观多样，颜色鲜艳醒目。但移动设备在人们手中使用一段时间后，外壳会出现喷漆，标识也会模糊，这在一定程度上影响了移动设备的美观。为了解决这些问题，各大手机厂商都在寻找解决方案。移动设备的塑料外壳经过化学处理，印刷和粘接效果得到改善，但以降低手机外壳硬度为代价。低温等离子体表面清洗设备技术在寻找更好的途径方面脱颖而出。
基材表层应保持在2-10 mN/m的液体张力范围内，等离子体表面改性陶瓷以使液体与基材表层形成适当的结合。当液滴附着在光滑的固体表面上时，它会扩散到基材上，如果完全湿润，则几乎为零。如果是部分潮湿，等离子清洗机的接触角可以平衡在0到180度之间，增加产品的表面张力，减少水滴的角度。。等离子清洗/蚀刻技术是对等离子特殊性能的一种具体应用。等离子清洗/蚀刻机在密闭容器中使用真空泵，达到一定的真空度，产生等离子。
因此，等离子体表面改性陶瓷主刻蚀步骤通常使用C/F比高的刻蚀气体，这些气体更容易产生聚合物，如C4F8、C4F6、CH2F2等，通过对主刻蚀步骤工艺参数的研究，结果表明，CxFy/O2比越高，第二条越轻，这是由于CxFy的增加，会产生大量聚合物；同时，随着O2用量的减少，反应产生的聚合物会被解离，去除率大幅降低，使光致抗蚀剂表面积累的聚合物不断增加，可以完美保护介电材料免受大气等离子体清洁剂等离子体的轰击或化学蚀刻，从而避免第二次条纹现象。
从表中可以看出，氮气的等离子体表面改性随着温度的升高，电离度迅速增加，但是要想使自动等离...
