日本研究组关于中性粒子蚀刻35族化合物的研究较多。他们不仅使用了这种极其先进的蚀刻技术，南通电晕机还使用了有机材料作为蚀刻掩模。原来，有机掩模材料较软，在等离子体轰击下容易变形、塌陷、产生缺陷，导致图案定义偏差。这就是为什么集成电路的加工逐渐从软的、单一掩模材料向硬的、多层掩模材料转变的原因。然而，有了中性粒子蚀刻技术，更柔软的有机掩模可以再次使用。由于中性粒子主要依靠干化学蚀刻，电子温度极低，可有效保护掩模材料。
但是HDI不能满足超薄电子产品的要求；柔性电路板和刚柔结合印制电路板可以很好地解决这一问题。由于刚-柔印制电路板所用的材料是FR-4和PI，南通电晕机因此电镀时需要使用一种能同时去除FR-4和PI钻渍的方法。等离子体处理法可同时去除FR-4和PI钻进污染物，效果良好。等离子不仅具有清除钻井污垢的作用，还具有清洗、活化等其他作用。
但如果等离子发生器仅使用13.56MHz射频电源，南通电晕机建议尽量控制在600L以内，腔体越大，所需射频电源越大；特别是在使用3000W及以上时，建议使用美国AE、MKS或其他进口射频电源，成本相对较高，但稳定可靠。若加工产品对均匀性要求较高，建议使用40kHz的中频电源或将真空室控制在L.2.真空等离子清洗机的进排气方式经测试具有相对较好的均匀性。
