拉力（推力）测试 这种方法对于用于粘合的产品来说是实用和可靠的。 6.高倍显微镜适用于需要去除颗粒的相关产品。 7.切片法适用于观察连续切片的行业，表面改性处理的缺点如PCB、FPC加工行业。通过制作切片，使用晶体显微镜观察和测量电路板上孔的腐蚀情况。 8.该测量方法适用于测量等离子腐蚀和灰化对材料表面的影响。其主要目的是测试等离子清洗机对宽等离子器具的均匀性，这是一个很高的指标。。
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滴角测量仪（接触角测量仪）不同材料的产品，表面改性处理的缺点等离子体表面处理前后水滴的角度不同，这取决于被处理材料的分子或组织结构。不同材料的初始表面能完全不同，等离子体表面处理后的表面反应也不同，所以处理后的角度不均匀，尤其是有机材料。无机材料在等离子体处理时，其主要作用是去除油污和表面粗糙化，其他影响因素较少，所以处理后的表面通常变化较大，如表面光滑、洁净，分子结构非常复杂，很难达到完全统一。
表面淬火处理后进行的微加工处理，表面改性处理的缺点目的也是去除经表面淬火处理后工件表面存在的氧化皮，为后续的低温渗氮工艺做铺垫，提高渗氮层与基体的结合性，改善渗氮层质量。 为了克服上诉的缺点，研究人员开发了低压等离子体，当气压低于10PA时，就不会产生异常辉光放电了。
