真空等离子清洗机通常的流程是：首先将工件固定在真空室内，玄武在线等离子清洗机通过真空泵等设备启动真空电离至十帕左右；然后是等离子体清洗体：根据工艺要求将O2、H2、Ar、N2和清洗材料的不同气体引入真空室，压力保持在Pa左右；在真空室内的电极与接地装置之间加高频电压，使气体渗入，等离子体通过辉光放电电离；当等离子体可以覆盖在真空室内时，清洁工作将持续几十秒到几分钟。
在微电子封装的生产过程中，玄武在线等离子清洗机使用等离子清洗机，通过在污染分子生产过程中去除工件表面原子，可以轻松保证工件表面原子之间的紧密接触，从而有效提高键合强度，提高晶圆键合质量，降低泄漏率，提高组件的封装性能、产量和可靠性。
一起来看看线性自动等离子清洗机是如何解决聚酰亚胺材料与铜膜结合强度差的问题的！在线性自动等离子清洗机上，玄武在线等离子清洗机氧或氩等离子体可以物理轰击PI表面，使表面由光滑变为粗糙，从而增加与铜膜结合的表面积，提高聚酰亚胺的表面自由能。当氩等离子体轰击时，PI材料表面的部分化学键可以断裂，其中一部分重合形成化学交联，另一部分与金属原子结合，有利于提高溅射铜膜的结合力。
复合加工技术可以充分发挥不同技术的各自优势，玄武在线等离子清洗机取长补短，有机配合，有效提高零件的使用性能。等离子清洗机等离子处理技术是先进的表面处理技术之一，...
